【公司资讯】一文详解离子束工艺技术、离子束工艺技术详解
一、 离子束工艺技术是一种先进的表面加工技术,具有高精度、高效率、高质量等优点,在微电子、光电子、机械制造等领域得到了广泛应用。本文将详细介绍离子束工艺技术的原理、应用、设备等方面的内容,希望能够为读者提供全面的了解和参考。 二、离子束工艺技术原理 1. 离子束的生成 离子束工艺技术的核心是离子束的生成。离子束是通过离子源产生的,离子源一般采用离子源发生器,通过加热和电离等方式将气体或固体物质转化为离子。离子源发生器可以分为热电子发射和电子轰击两种方式,前者适用于低能离子束,后者适用于高能离子